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Apreo S Hivac
一、電鏡技術參數:
1電子光學
1.1電子槍類型:高分辨肖特基場發射電子槍
1.2加速電壓:200V-30kV
1.3電子著陸能量:20eV-30keV
*1.4束流大小:1pA-400nA連續可調,保證能譜高效工作
1.5透鏡(物鏡)幾何結構:60°物鏡幾何結構:支持傾斜較大的樣品(不規則樣品)
*1.6兼容磁性樣品
1.7光闌:自加熱物鏡光闌
1.8自動烘烤、自動啟動、無需機械合軸
1.9 減速樣品臺
2分辨率
2.1高真空分辨率(STEM掃透模式):0.6nm@30kV
2.2高真空分辨率(SE二次電子):0.7nm@15kV
2.3高真空分辨率(SE二次電子):0.8nm@1kV(樣品臺減速)
2.4高真空分辨率(SE二次電子):1.0nm@1kV(不開樣品臺減速)
2.5 10mm分析工作距離分辨率:1.0nm@1kV
3探測系統
3.1 鏡筒內BSE探頭(T1)
3.2 鏡筒內SE探頭(T2)
3.3 鏡筒內探測器 (T3)
3.4 常規SE探頭 (ETD)
3.5 紅外CCD(觀察樣品臺高度)
3.6 Nav-Cam智能導航相機
4真空系統
4.1泵的組成:1個PVP渦旋泵+1個分子泵+2個離子泵
*4.2抽真空時間:≤ 3.5 分鐘
5樣品倉
*5.1樣品倉內徑:340mm
5.2接口:總共12個,可接能譜3個(1個35°,2個平行180°)
6樣品臺
6.1 五軸全對中馬達樣品臺,行程:X=110 mm,Y=110 mm,Z=65 mm
*6.2 傾斜Tilt(°):-15 ~ +90,旋轉Rotation(°):360°連續
6.3 最大樣品尺寸:可沿 X、 Y 軸完全旋轉時直徑為 122 mm,最大樣品高度 距共心點 85mm
6.4 分析工作距離:10mm
*6.5 多功能樣品臺:多用途標準支架,以獨特方式直接安裝到載物臺,最多可支持 18 個標準樣品臺 (Ø12 mm)、3 個預先傾斜的樣品臺、切片樣品和不需要工具來安裝樣品
7軟件
7.1圖像輸出分辨率:65000x65000像素,8/16/24位深度BMP、JPG
7.2光柵掃描:駐留時間25ns到25ms/像素
*7.3智能掃描和漂移補償:SmartSCAN(256 幀平均或積分、線積分和平均法、隔行掃描),DCFI(漂移補償幀積分)
7.4控制:手動/自動控制亮度/對比度
7.5掃描方式:正常掃描、縮小光柵、定點、線掃描、掃描旋轉、傾斜校正
*7.6顯示方式和探測器通道數量:單幅或4幅圖像實時顯示,標準4通道,任意兩個探測器的輸入可混合
7.7配備Map3大視野關聯軟件
二、能譜儀參數:
技術指標
1、(*)能譜探測器:采用CMOS內置的Si3N4窗新型SDD探測器窗口,堅固耐用,晶體有效活區面積30mm2,X射線信號透過率比傳統的聚合物材料提高35%以上。
2、(*)Si3N4新型窗口耐高壓大于8個大氣壓, 耐高溫大于650攝氏度,耐酸堿腐蝕,可等離子直接清洗。
3、(*) 脈沖譜儀處理板集成在探測器內,無需獨立的譜儀箱,能譜儀硬件除了探測器和計算機無需其他部件。
4、分析元素范圍:Be4~Am95
5、(*)能量分辨率(Mn-Ka):優于127eV, 嚴格依照ISO15632國際標準測量
6、優異的低能端分辨率: Al Lα to Al Kα 峰比率1:1
7、(*) 最大輸入計數率 200萬CPS,最大輸出計數率85萬CPS。
8、在0~200kcps范圍內的分辨率穩定性:> 90%
9、(*)能量分辨率和死時間實時顯示。
用途:
場發射掃描電鏡為材料研究和材料表征最常用的設備之一。它利用電子和物質的相互作用,可以獲取被測樣品本身的各種物理、化學性質的信息,如形貌、組成、晶體結構、電子結構和內部電場或磁場等等。主要用于高分子、聚合物及鋰電池材料的微觀形貌標準及其成分分析。具備樣品表面微觀形貌觀測和表面元素成分點、線、面分析,適合分析最廣泛的樣品范圍,從傳統的金屬材料(包含磁性材料)、斷口和拋光斷面,到鋰電池相關的正負極材料的微區形貌、成分和相分布分析。
工作環境:
1、電壓:100-240V(-6%,+10%)
2、工作溫度:20±3 ℃
3、 相對濕度:< 80%
4 、震動和磁場需由廠家裝機前測試并給出報告
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